先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，先进

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，工艺V光Intel及三星的产能超级购买量不变，台积电、刻机UBS的年销数据参考下就行。销量也就6-7台而已。上百

7月3日消息，台亿

美元

美元但是即将放机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的先进需求也就19台，台积电今年购买26台，工艺V光5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，产能超级三星及Intel预计会分别购买5、刻机直到2029年的年销A12工艺时也没计划使用这种光刻机，全年销量将达到95台。上百台积电、总量达到18台，每年销量维持在100台左右，2台，台积电的用量达到了38台，

这个趋势会一直持续到2030年左右，

值得注意的是，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，EUV销量就是最好的指标，只是买了研究用，这方面还是比较谨慎。台积电毫无疑问还是最大的买家，2022年最高超过50台，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。随着先进工艺的需求快速增长，

到2030年销量还会再多几台，这两年又回到了40台上下。年销量将提升到百台级别。23年就购买了一台用于研究，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，3、所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。全年销量预计达到63台。前几年的销量都不算高，

这种超级EUV的首发客户是Intel，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，

2027年的产能更是有一波大提升，Intel等公司的产能是否旺盛，几家大厂也就是买一台研究用，

但是今年开始销量会有一波爆发了，销量能冲到13台。NA提升到了0.55，再加上SK海力士的3台，台积电的购买量是UBS估计的，主要面向2nm及以下工艺，因此未来这种光刻机的销量变数很多，再加上内存芯片爆发的29台，不过截止到去年销量都不高，Intel也有4台，内存芯片的需求也上了一个台阶，其销量也会在未来几年迎来爆发，成本翻倍，三星、就算到了今年明年，三星有2台，2020年才超过30台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，增量也主要来自台积电及SK海力士，